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三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的基板規(guī)模發(fā)布日期：2020-05-29 09:17:37
在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)橋設(shè)計(jì)中，Z軸套筒安裝在沿橋移動(dòng)的滑架上(沿X軸，見圖1)。橋沿Y軸方向上的兩個(gè)導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)橋的一個(gè)肩部，而傳統(tǒng)上則不驅(qū)動(dòng)相對(duì)的肩部：橋結(jié)構(gòu)通常由空氣靜壓軸承引導(dǎo)/支撐�；�(X軸)和主軸(Z軸)可以由皮帶，螺桿或直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)旨在最大程度地減少不可重復(fù)的錯(cuò)誤，因?yàn)檫@些錯(cuò)誤很難在控制器中進(jìn)行補(bǔ)償。高性能三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)包括一個(gè)高熱質(zhì)量的花崗巖床和一個(gè)堅(jiān)固的龍門/橋結(jié)構(gòu)，并帶有一個(gè)低慣性的主軸，該主軸上裝有一個(gè)觸發(fā)式測(cè)頭，以測(cè)量工件上的離散點(diǎn)。然后使用數(shù)據(jù)來確保零件滿足預(yù)定的公差。高精度線性編碼器安裝在單獨(dú)的X，Y和Z軸上，在某些龍門式機(jī)床上，它們可能長(zhǎng)達(dá)數(shù)米。
花崗巖橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在空調(diào)室內(nèi)運(yùn)行，平均溫度為20±2°C。室溫每小時(shí)循環(huán)3次，使高熱量的花崗巖保持20°C的恒定平均溫度。
浮動(dòng)線性編碼器光柵尺安裝在每個(gè)軸(X，Y和Z)上。不銹鋼氧化皮在很大程度上不受花崗巖基底的影響，并且由于其高導(dǎo)熱率和低熱質(zhì)量而迅速響應(yīng)于空氣溫度的變化，而熱質(zhì)量卻明顯低于花崗巖床的熱質(zhì)量。這導(dǎo)致水垢在大約60μm的3 m軸上的最大膨脹或收縮。如圖2所示，這種擴(kuò)展會(huì)產(chǎn)生很大的測(cè)量誤差，由于其隨時(shí)間變化的性質(zhì)很難補(bǔ)償。