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蔡司GeminiSEM 300高分辨掃描電子顯微鏡發(fā)布日期：2023-04-12 11:09:35
設(shè)備配置文件。
蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡300具有出色的分辨率、更高的對(duì)比度和更大且無(wú)失真的成像視野。可方便地選擇適合于樣品的真空度等參數(shù)，使初學(xué)者也能很快掌握。
器件的信號(hào)采集系統(tǒng)效率高，分辨率性能優(yōu)異，可在高真空或變壓模式下實(shí)現(xiàn)快速、高質(zhì)量、無(wú)畸變的大范圍成像。高分辨率電子槍模式，用于磁性樣品、非導(dǎo)電樣品和射束敏感樣品的低電壓成像。蔡司獨(dú)家的柱內(nèi)能量選擇性背散射檢測(cè)器，即使在低電壓下也能輕松獲得樣品材料的高質(zhì)量對(duì)比度圖像。此外，NanoVP技術(shù)使色譜柱中的Inlens二次電子檢測(cè)器能夠?qū)Ψ菍?dǎo)電樣品進(jìn)行高靈敏度和高分辨率成像。
設(shè)備參數(shù)。
生產(chǎn)廠家：蔡司（德國(guó)）。
型號(hào):GeminiSEM 300
電子槍：ZrO/W（100）熱陰極場(chǎng)發(fā)射。
加速電壓：20V～30 kV
二次電子分辨率：1千伏時(shí)為1.2納米，15千伏時(shí)為0.7納米。
低真空模式：10~60 帕可調(diào)。
放大率：1200-2,000,000。
樣品室尺寸：330毫米（φ）×270毫米（高）
樣品臺(tái)行程：X/Y=130毫米，Z=50毫米，R=360°，T=-4°～+70°。
主要特點(diǎn)。
1. 無(wú)交叉光路設(shè)計(jì)。
2. 光束助推器在鏡頭筒內(nèi)減速。
3. 在鏡筒內(nèi)的正光軸上設(shè)置有環(huán)形二次電子探測(cè)器。
4. 出色的低電壓高分辨率成像能力。
5. 出色的光束穩(wěn)定性，可靠的EBSD分析。